•  
  •  
 

Abstract

PZT (PbZr1-xTixO3 ) merupakan bahan berbentuk kristal perovskite yang dapat dimanfaatkan sebagai sensor inframerah. Penambahan sedikit dopan (bahan pendoping) dapat mengubah secara drastis karakteristik spesifik dari bahan keramik-ferroelektrik seperti polarisasi spontan, sifat dielektrik, sifat elektromekanik, elektrooptik dan sifat lainnya. Hard doping dengan menggunakan ion In3+ diaplikasikan pada penelitian ini dan dilakukan penumbuhan lapisan tipis dari bubuk PIZT (PbInxZryTi1-x-yO3-x/2) pada substrat Si(100) dengan metode Chemical Solution Deposition (CSD) dengan konsentrasi 0,5 M dan kecepatan putar spin coating 3000 rpm. Karakteristik bahan PIZT baik bubuk maupun lapisan tipisnya diuji dengan difraksi sinar x. Analisis Rietveld dilakukan dengan menggunakan program GSAS-EXPGUI dan diperoleh parameter kisi dan komposisi fasa dari kristal. Polarisasi spontan (Ps ) PIZT bubuk dan lapisan tipisnya mengalami penurunan dibandingkan dengan bahan asalnya (PZT). Polarisasi spontan yang optimum dari lapisan tipis PIZT dicapai pada rentang doping 0,5% - 1% In2O3. Momen quadrupol potensial listrik (FQ(r) ) bahan PIZT pada suatu titik P (0,0,2a) mencapai kondisi optimum pada % doping 6% In2O3 dan dari hasil penelitian ini juga menunjukkan bentuk lapisan tipis PIZT memiliki nilai (FQ(r)) yang lebih baik daripada bentuk bubuknya untuk rentang doping > 1% In2O3.

References

[1] Irzaman, A. Fuad, P. Arifin., M. Barmawi, Prosiding Seminar Industrial Electronic, ITS, Surabaya, 1999. [2] I. Suyana, Tesis Master, Program Studi Ilmu Fisika FMIPA, Universitas Indonesia, Indonesia, 2003. [3] M. Hikam, Laporan Pelaksanaan Riset Unggulan Terpadu (RUT) IX.3 Tahun 2004, KRT-LIPI, Jakarta, 2004 [4] J. Fraden, Handbook of Modern Sensors: Physics, Designs and Applications, 2nd. ed., Springer-Verlag, New York, 1996. [5] L.L. Hench, J.K. West, Principle of Electronic Ceramics, John Wiley & Sons, Singapore, 1990. [6] Y. Xu, Ferroelectric Material and Their Applications, North-Holland, Netherlands, 1991. [7] T. Yogaraksa, M. Hikam, Makalah PPI Standarisasi dan Jaminan Mutu, Badan Standarisasi Nasional, Jakarta, Indonesia, 2002

Share

COinS
 
 

To view the content in your browser, please download Adobe Reader or, alternately,
you may Download the file to your hard drive.

NOTE: The latest versions of Adobe Reader do not support viewing PDF files within Firefox on Mac OS and if you are using a modern (Intel) Mac, there is no official plugin for viewing PDF files within the browser window.