•  
  •  
 

Abstract

The needs of smaller size RF varactor is a must today, and MEMS comes to be the potential one. In this paper we proposed an adjustable resonance RF-MEMS varactor by using comb-drive actuators placing in each side of the square movable plate. In our preliminary simulation, we found that the device can work properly but some constraints comes such as the dominancies of harmonic resonance frequencies that influences into the nominal capacitances. Therefore for the next step of development we have to find out the window of the structural dimension for a certain spans and a certain operating frequencies.

Bahasa Abstract

Frekuensi Resonansi yang dapat Disesuaikan dari Kapasitor RF-MEMS dengan Menggunakan Aktuator Comb- Drive: Pendekatan Rancangan. Kebutuhan RF varactor berukuran lebih kecil merupakan keharusan sekarang ini, dan MEMS menjadi yang berpotensial. Dalam makalah ini kami mengusulkan RF-MEMS varactor resonansi yang dapat disesuaikan dengan menggunakan aktuator comb-drive yang diletakkan pada masing-masing sisi pelat segi empat yang dapat bergerak. Dalam simulasi awal yang kami lakukan, kami menemukan bahwa peralatan ini dapat bekerja dengan baik tetapi terdapat beberapa kendala seperti dominansi frekuensi resonansi harmonis yang mempengaruhi ke dalam kapasitansi nominal. Oleh karena itu, untuk langkah perkembangan berikutnya kami harus mengetahui jendela dimensi struktural untuk rentang tertentu dan frekuensi pengoperasian tertentu.

References

  1. D.J. Young, B.E. Boser, A Micro-machined Variable Capacitor for Monolithic Low-Noise VCOs, Proceedings of International Conference on Solid-State Sensor and Actuator, IEEE, Washington, DC, 1996, p.86.
  2. A. Dec, K. Suyama, IEEE Transactions on Microwave Theory Technol. 46/2 (1998) 2587.
  3. J.-B. Yoon, C.T.-C. Nguyen, IEEE Technical Digest. International Electron Devices Meeting, San Fransisco, CA, USA, 2000, 489.
  4. H. Nabovati, K. Mafinejad, H. Keshmiri, A. Nabovati, J. Scientia Iranica, 13/1 (2006) 60.
  5. J. Mireles Jr., H. Ochoa, V. Hinostroza, J. Computación y Sistemas 10/1 (2006) 1.
  6. A. Selvakumar, Ph.D Dissertation, University Michigan, Ann Arbor, Michigan, 1997.
  7. G.K. Fedder, Ph.D Dissertation, EngineeringElectrical Engineering and Computer Sciences, University of California, 1994.

Share

COinS
 
 

To view the content in your browser, please download Adobe Reader or, alternately,
you may Download the file to your hard drive.

NOTE: The latest versions of Adobe Reader do not support viewing PDF files within Firefox on Mac OS and if you are using a modern (Intel) Mac, there is no official plugin for viewing PDF files within the browser window.